光柵式示表檢定儀隨著的發(fā)展，電子式數(shù)字化并利用微機(jī)行數(shù)據(jù)處理的計(jì)量儀器、裝置得到廣泛應(yīng)用，并在逐步替代老式傳統(tǒng)的純機(jī)械式儀器。用于檢定各類示表示值誤差的光柵式示表檢定儀就是例。

作原理

光柵式示表檢定儀是利用光柵測長原理，把直線位移變成電信號，經(jīng)前置放大、分相、整形、電子細(xì)分，將脈沖信號行記數(shù)和顯示，并利用微處理器行數(shù)據(jù)處理，由微型打印機(jī)打印出檢定數(shù)據(jù)和結(jié)果。其框圖如下 。

光柵測長的原理是將光源發(fā)出的光，通過望遠(yuǎn)系統(tǒng)變?yōu)槠叫泄?，照射到柵線面相對的透射式標(biāo)尺光柵和示光柵上，當(dāng)標(biāo)尺光柵相對固定的示光柵沿柵線垂直方向移動時，則所產(chǎn)生的明暗相間的莫爾條紋沿柵線方向移動。兩塊光柵尺相對移動個柵距，莫爾條紋的光強(qiáng)周期地變化次，并掃過安放在示光柵前的四只光電元件，從而產(chǎn)生兩路正弦電信號，經(jīng)電路系統(tǒng)處理后，變成脈沖信號。由于儀器測桿與標(biāo)尺光柵剛性連接，故測桿位移L與脈沖信號的關(guān)系可用下式表達(dá)

L=A?N=

式中，A-脈沖當(dāng)量;n-電路細(xì)分能力;k-光柵線紋密度;N-脈沖數(shù)。

脈沖當(dāng)量是每個脈沖相當(dāng)?shù)奈灰瞥叽?。設(shè)n=100，k=100，N=1，則

L= ×1=0?1μm

上式說明，當(dāng)采用100線光柵時，電信號經(jīng)過100細(xì)分后，測桿每移動0?1μm，電路將給出個電脈沖。由微機(jī)記取脈沖數(shù)即可準(zhǔn)確地得到被測尺寸大小。